在微顯示產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展的今天,一項關鍵技術瓶頸終于被攻破。天津大學精密測試技術及儀器全國重點實驗室傳來振奮人心的消息:該校精儀學院感知科學與工程系黃顯教授科研團隊成功開發(fā)出Mini LED晶圓高效率無損檢測技術,這一創(chuàng)新成果已于6月13日登上國際權威期刊《自然-電子學》。
傳統(tǒng)的LED晶圓檢測一直面臨著"硬碰硬"的困境——剛性探針在接觸過程中容易對精密器件造成不可逆的表面損傷。黃顯教授團隊另辟蹊徑,首創(chuàng)了基于柔性電子工藝的全新檢測路徑。
這套創(chuàng)新方案的核心在于三維構型的彈性探針陣列。憑借"以柔克剛"的巧妙設計理念,這些軟質探針能夠根據(jù)被測對象的表面輪廓進行自適應調節(jié),僅需0.9兆帕的"呼吸級輕壓"便可完成精確接觸。
技術突破的關鍵數(shù)據(jù)令人震撼:
接觸壓力僅為傳統(tǒng)剛性方案的萬分之一
零表面磨損,完全保護晶圓完整性
探針耐久性極強,百萬次使用后依然保持初始狀態(tài)
檢測精度和傳統(tǒng)方法完全一致
單純的探針創(chuàng)新還不足以解決產(chǎn)業(yè)痛點。研發(fā)團隊同步開發(fā)了與三維彈性探針深度匹配的智能測量系統(tǒng)。通過硬件與軟件的協(xié)同優(yōu)化,這套解決方案為微顯示產(chǎn)品的工藝流程監(jiān)控和良品率提升提供了強有力的技術支撐。
通過同軸光路設計,系統(tǒng)能夠同時捕獲LED器件的發(fā)光強度和波長特征信息,實現(xiàn)多維度綜合評估。
"我們實現(xiàn)了從0到1的關鍵跨越,填補了微型發(fā)光二極管電致發(fā)光檢測領域的技術空白。"黃顯教授在接受采訪時表示,"這項技術不僅解決了Mini LED檢測難題,更為其他復雜半導體器件的檢測提供了顛覆性的技術路徑。"
目前,該技術已在天開高教科創(chuàng)園啟動產(chǎn)業(yè)轉化進程。隨著探針陣列規(guī)模的持續(xù)擴展和檢測通道的不斷增加,這項創(chuàng)新有望在以下領域產(chǎn)生深遠影響:
晶圓級集成檢測:批量化、標準化檢測流程 生物光子學應用:生物醫(yī)學光電器件評估
柔性電子拓展:更廣泛的應用場景探索
這項突破性技術的商業(yè)化進程備受關注。未來,它將為國內微顯示產(chǎn)業(yè)鏈提供:
批量化檢測能力:滿足大規(guī)模生產(chǎn)需求
無損檢測保障:確保產(chǎn)品質量和良品率
成本優(yōu)化方案:降低檢測環(huán)節(jié)的整體成本
技術壁壘突破:擺脫對進口設備的依賴
隨著我國在新型顯示技術領域的持續(xù)發(fā)力,這一創(chuàng)新成果無疑為產(chǎn)業(yè)競爭力的提升注入了強勁動力。
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